釩氧化物高質量外延單晶薄膜

釩氧化物是一種極其復雜的金屬氧化物，且具有豐富的相結構，每一種相都有其獨特的用途，如VO₂高溫R相到低溫M相之間發生結構轉變同時伴隨著4-5量級的電阻率變化，高溫下的VO2薄膜對紅外光具有極好的截至性能，因而在光電器件、節能窗、低功耗場效應管等具有潛在的應用前景；VO2存在的B相是其釩氧化物眾多的亞穩相之一，VO2(B)的層狀結構以及納米量級下具有可靠的性質而越發引起關注，例如VO2(B)相納米線或納米針用于陰極的Li電池中，同時VO2(B)具有高溫度的電阻系數可用于輻射熱計中的紅外吸收層。然而，在透明且廉價的襯底上制備薄膜形式的釩氧化物一直是個挑戰，我們利用反應離子濺射在(0006)取向的藍寶石襯底上成功制備出V2O3，VO2(M1)，VO2(B)等高質量的外延單晶薄膜。

產品：VOx外延薄膜（厚度可定制）

制備方法：反應離子濺射；襯底：雙拋光透明藍寶石

參考數據：

樣品尺寸：

樣品照片：

AFM:

XRD：

變溫-電阻值測試曲線：

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